X射線熒光光譜儀（XRF）進行定量分析時，主要依據的原理是元素的熒光X射線強度與試樣中該元素的含量之間存在直接的正比關系。這一原理構成了X射線熒光光譜儀定量分析的基礎，其具體解釋如下：

一、熒光X射線的產生

當X射線照射到樣品上時，樣品中的原子會吸收X射線能量，使得原子內層電子被激發(fā)至高能態(tài)。隨后，這些被激發(fā)的電子會回落到低能態(tài)，并釋放出特征X射線，即熒光X射線。每種元素都有其獨特的特征X射線，這些特征X射線的波長和能量與元素的種類直接相關。

三、定量分析的方法

基于上述原理，X射線熒光光譜儀可以采用多種方法進行定量分析，包括但不限于標準曲線法、增量法和內標法等。這些方法的核心思想都是通過已知濃度的標準樣品來建立熒光X射線強度與元素含量之間的定量關系，然后利用這種關系來測定未知樣品中元素的含量。

然而，需要注意的是，在實際應用中，由于樣品基體效應和共存元素的影響，可能會給測定結果帶來一定的偏差。因此，在進行定量分析時，需要采取一系列措施來減小這些影響，如選擇適當的樣品制備方法、優(yōu)化儀器參數和采用先進的校正技術等。

綜上所述，X射線熒光光譜儀進行定量分析時主要依據的是元素的熒光X射線強度與試樣中該元素的含量之間的正比關系。通過測量樣品中元素的熒光X射線強度，并結合適當的分析方法和校正技術，我們可以準確地測定出樣品中元素的含量。